Nanoteknolojinin tarihçesi, 1959 yılında fizikçi Richard Feynman’ın “Aşağıda Daha Çok Yer Var” başlıklı konuşmasıyla başlar. Feynman, atom ve moleküllerin kontrolü ve manipülasyonu ile ilgili fikirlerini ortaya atmıştır. Nanoteknolojinin adı ise 1974 yılında Profesör Norio Taniguchi tarafından kullanılmıştır. Taniguchi, nanoteknolojiyi “maddelerin bir atom ya da bir molekül tarafından ayrılması, birleştirilmesi ve bozulması yöntemi” olarak tanımlamıştır. Nanoteknolojinin gelişimi ise 1981 yılında atomları görmeyi sağlayan taramalı tünelleme mikroskobunun icadıyla hızlanmıştır. Nanoteknolojinin vizyonu ise 1986 yılında K. Eric Drexler tarafından yazılan “Yaratılışın Motorları: Nanoteknolojinin Yaklaşan Çağı” kitabında ortaya konmuştur. Drexler, moleküler makineler, nanorobotlar ve nanofabrikasyon gibi kavramları tanıtmıştır. Nanoteknolojinin tarihçesi, bu önemli dönüm noktalarının yanı sıra pek çok bilim insanının katkılarıyla şekillenmiştir.
