Elektron mikroskobu, küçük yapıları büyütmek ve görüntülemek için ışık yerine elektron demeti kullanan ve geleneksel optik mikroskoplara göre daha yüksek çözünürlük ve daha yüksek büyütme sağlayan bir mikroskop türüdür. Elektron mikroskobu, cisimleri yaklaşık bir milyon defa büyütebilir ve bunu bir ekranda gösterebilir. Elektron mikroskobu, atomlar, kristaller, hücreler gibi objelerin yapısını incelemek için kullanılır.
Elektron mikroskobunun çalışma prensibi şöyledir:
-
Elektron mikroskobu, vakumlu bir tüp içinde bulunan bir elektron topundan elektron demetleri üretir. Bu elektron demetleri, elektrik ve manyetik alanlar tarafından hızlandırılır, saptırılır ve odaklanır.
-
Elektron demetleri, incelenmek istenen cismin üzerine düşer. Cisimden yansıyan veya geçen elektronlar, bir algılayıcı tarafından yakalanır. Algılayıcı, elektronların yoğunluğuna göre farklı renklerde veya gri tonlarda bir görüntü oluşturur.
-
Oluşan görüntü, bir ekranda veya bir bilgisayarda gösterilir. Görüntü, ayrıca bir fotoğraf filmine veya bir dijital ortama kaydedilebilir.
Elektron mikroskoplarını çalışma prensiplerine göre ikiye ayırmak mümkündür:
-
Bir türünde, görüntü, yansıyan elektron ışınlarından faydalanılarak elde edilir. Bu tür elektron mikroskopuna taramalı elektron mikroskobu (SEM) denir. SEM ile cismin yüzey yapısı incelenebilir.
-
Diğer türünde ise cisimden geçen ışınlar görüntüyü hasıl eder. Bu tür elektron mikroskopuna geçirimli elektron mikroskobu (TEM) denir. TEM ile cismin iç yapısı incelenebilir.