İyonizasyon, gaz moleküllerine yüksek enerji verilerek elektronların atom çekirdeklerinden koparılması ve böylece yüklü parçacıklardan oluşan plazma hâlinin oluşmasıdır. İyonizasyon için gerekli olan enerji, ısı, elektrik akımı, lazer ışını veya elektromanyetik radyasyon gibi çeşitli kaynaklardan sağlanabilir.
Deiyonizasyon ise plazmanın ısı vererek gaz hâline geri dönmesidir. Deiyonizasyon sırasında elektronlar atom çekirdeklerine tekrar bağlanır ve yüksüz moleküller oluşur.
